Hacettepe Üniversitesi Teknoparkında yer alan NANOVAK Ltd. şirketi Vakum (*) ve İnce film (**) hazırlama sistemleri konusunda AR-GE çalışmaları yapar. Vakum haznelerinin ve sistemlerinin yapımı, bu sistemlerin ısıl, kopartma ve elektron tabancası teknikleri ile donatılarak ince film hazırlama tezgahları olarak imalatı konularında çalışır.

Ar-Ge sürecinde tasarlanan vakum ve ince film hazırlama tezgahları arzulanan özelliklerde yapılır ve ihtiyaç sahiplerine, yerinde kullanım eğitimi verilerek kurulur. İnce film hazırlama sistemleri vakum haznesi, örnek tutma-ısıtma birimi, pompalama birimi, elektronik kontrol ve ölçüm cihazları, vanaları ve diğer yan birimleri içeren anahtar teslimi tezgahlar olarak tasarlanır ve üretilir.

(*) İçinde bulunan gazların pompalanarak boşaltıldığı, atomik seviyede temiz olan çalışma bölgelerine Vakum haznesi denir. Vakum Bilimi vakum haznelerinin hazırlanması, boşaltılması, gaz sızmalarının giderilmesi, temizlik, pompalama ve ölçüm sistemleri gibi konuları içeren bir bilim dalıdır.

(**) İnce Film Bilimi bir malzemenin atomlarının bir yüzeye kaplanmasını içeren bir bilim dalıdır. Maddenin atomlara ayrılarak yüzeylere gönderilmesini, alttaş yüzeylerinin hazırlanmasını, yüzeyde atomların çekirdeklenmesini kapsar. Oluşan filmlerin yapısal, elektrik, mekanik, optik ve manyetik özelliklerinin çalışılması konularını inceler. İnce filmler 1-1000 nanometre kalınlıklarında hazırlanırlar. Daha kalın ince filmler de 1-5 µm kalınlığa kadar kaplanabilir. Kalın film ince öğütülmüş tozdan hazırlanan çözeltilerle spin kapama (Spin-Coating) ya da daldırma (Dipping) teknikleri ile hazırlanır, ince filmden farklıdır.