|
Masaüstü Isıl Buharlaştırma Sistemi Üretimi Tamamlandı -
2 adet ardışık ısıl buharlaştırma kaynağına sahip masaüstü ısıl buharlaştırma sistemi hizmete sunuldu.
10-7 Torr taban basıncına sahip sistem, masaüstü sistem olarak dar laboratuar ortamları için özel olarak tasarlanıp geliştirilmiştir.1.8kW (180A) lık 2 ayrı buharlaştırma potası ile ardışık olarak kaplama yapılabilmektedir.
Bilgisayar Kontrollü Kombine (Isıl Buharlaştırma + Mıknatıslı Saçtırma) Sistem Hizmete Sunuldu -
2 adet ardışık ısıl buharlaştırma kaynağına, 2 adet 2" mıknatıslı saçtırma kaynağına ve 300oC örnek ısıtma ve döndürme özelliklerine sahip kombine sistem hizmete sunuldu.
2x10-7Torr taban basıncına sahip sistemde 300oC ye ısıtılabilen döner örnek tutucu kullanılmaktadır. 1.8kW (180A) lık 2 buharlaştırma potası ile ardışık olarak kaplama yapılabilmektedir. Akı yönü ayarlanabilen 2" hedefli RF ve DC mıknatıslı saçtırma kaynakları bulunmaktadır. Bilgisayar kontrollü boğma vanası ve 3 adet kütle akış-metresi ile oksit, nitrür, vb. çalışmalar da rahatlıkla yapılabilmektedir.
4'lü Isıl Buharlaştırma Sistemi Hizmete Sunuldu -
4 adet ardışık ısıl buharlaştırma potasına ve 300oC örnek ısıtma ve döndürme özelliklerine sahip sistem hizmete sunuldu.
2x10-7Torr taban basıincına sahip sistemde 300oC ye ısınabilen döner örnek tutucu kullanılmaktadır. Alttaş üzerinde plazma temizliği yapılabilmekte olup 2kW (200A) lik 4 buharlaştırma potasıi ile ardışık olarak kaplama yapılabilmektedir.
Bilgisayar Kontrollü Vakumda Lehimleme (BRAZING) Sistemi Hizmete Sunuldu -
1x10-7Torr taban basınca ve 1100oC maksimum sıcaklığa sahip tam otomatik bilgisayar kontrollü vakumda lehimleme sistemi hizmete sunuldu.
Bilgisayar programı ile ısınma ve soğuma eğrileri oluşturularak istenilen hızla ısıtma ve soğutma yapılabilmektedir. Örnek gözleme penceresi ile sıcaklık kalibrasyonu yapılabilen sistemde 1100oC de 5x10-6Torr da çalışma imkanı sunulmaktadır.
Turbo-Pompa İstasyonu Hizmete Sunuldu -
250L/s Turbomoleküler Pompa ile Yağlı veya Kuru Mekanik Pompa kullanılabilen otomatik pompalama istasyonları hizmete sunuldu. Sistem kapatılmaksızın birden fazla vakum kazanı ardışık olarak pompalanabilmektedir. İstenildiği takdirde gaz-kısma/izolasyon vanası ve gaz sızdırma vanaları ile çalışma kazanını istenilen basınçta/vakumda tutmaya olanak verilebilir. Sistem az yer tutmakta ve tekerlekleri sayesinde istenilen konumda rahatlıkla kullanılabilmektedir.
Pişirmeli Vakum Test İstasyonu Üretimi Tamamlandı -
10-8Torr taban basıncına sahip, 100oC ısıtmalı sistem hizmete sunuldu. Sistemde dahili Ti Süblimasyon Pompası bulunmaktadır. Ayrıca Residual Gas Analyzer (RGA) ile toplam basınç ve yüksek vakumda kazan içerisindeki moleküllerin kısmi basınçları gözlenebilmektedir. Sistem uzun süreli çalışmalara (1-2 hafta) uygun olarak özel olarak tasarlanmıştır.
|
