Bell-Jar Tipi Isıl (Thermal) Sistemler
Bell-Jar tipi basit buharlaştırma sistemleri, günlük kullanımlar için idealdir. 4 farklı malzemeye kadar ısıl buharlaştırma imkanı sağlanabilir.
Örnek Yükleme Odası
Entegreli Kaplama Sistemleri
Örnek yükleme odası (Load-Lock) sistemleri, kazan vakumunu bozmadan örnek yükleme olanağı tanır.
Sert Lehimleme
(Brazing) Sistemleri
Sert lehimleme sistemleri ile seramik-bakır gibi benzemez malzemeler birbirine lehimlenebilir. Tam otomatik bilgisayar kontrol ile kolay kullanım.
Elektron Demet
(E-Beam) Sistemleri
Yüksek erime sıcaklığına sahip malzemelerin buharlaştırılması için ideal sistemlerdir. Isıl buharlaştırma kaynakları ile birlikte kullanılabilirler.
Glove-Box Entegre
Vakum Sistemleri
Organik malzemeler ile çalışmak için çok uygun sistemlerdir. Glove-Box içinde kayar kapı mekanizması ile az yer işgal eder.
Yüksek Güçlü Saçtırma
(HiPIMS) Sistemleri
HiPIMS Sistemleri yüksek enerjili anlık DC saçtırma teknolojisi ile donatılmıştır. Çok yüksek iyonlaştırma yoğunluğuna sahiplerdir.
Mıknatıslı Saçtırma
(Sputter) Sistemleri
Farklı malzemeler kullanılarak, katmanlı filmler hazırlamak için uygun sistemlerdir. Tam otomatik kontrol ile kullanımı çok rahattır.
Kimyasal Buharlaştırma
(PECVD) Sistemleri
Tüplü fırın ile birleştirilen 300W gücünde RF plazma güç kaynağı ile kimyasal kaplamalar yapılan sistemlerdir.
Uzay Simülatör
Sistemleri
Vakum ortamında birden fazla ısıtma ve soğutma döngüsü oluşturularak sıcak ve soğuk uzay ortamı simüle edilir. Döngüler programlanır ve veriler yazılım tarafından kaydedilir.
Isıl Buharlaştırma
(Thermal) Sistemleri
Kutu tipi kabinler içinde, 4 farklı malzemeye kadar ısıl kaynaklı, çok hassas katmanlı filmlerin hazırlanabileceği sistemlerdir.
Isıl ve Saçtırma
Kombine Sistemleri
Kutu tipi kabinler içinde, 4 farklı malzemeye kadar saçtırma kaynaklı, çok hassas katmanlı filmlerin hazırlanabileceği sistemlerdir.
Vakum Fırınları ve
Gaz Atma Sistemleri
30-500°C sıcaklık aralığında ve yüksek vakumda, örneklerin temizleme ve gaz atması için özel olarak geliştirilen sistemlerdir.
Reaktif İyon Aşındırma (RIE) Sistemleri
Bu sistemler, fiziksel ve kimyasal reaksiyonların bir kombinasyonunu kullanarak numune yüzeylerinin kuru aşındırılması için tasarlanmıştır.